中, 국산 액침 DUV 노광장비 양산 착수...반도체 자립 가속화

로이터통신은 소식통을 인용해 중국이 자체 개발한 액침 심자외선(DUV) 노광 장비의 대량 생산을 시작했다고 보도했다. 이는 미국의 첨단 기술 수출 통제에 맞서 반도체 자급자족을 추진하는 중국에게 중요한 이정표가 될 전망이다.

국영기업 '아이셩나' 주도

이번 양산을 주도하는 곳은 잘 알려지지 않은 국영기업 상하이 아이셩나 전자 기술 그룹(Shanghai Aishengna Electronic Technology Group)으로 확인되었다. 아이셩나는 중국 내 유력 노광 기술 스타트업들의 핵심 인력을 통합해 이번 프로젝트를 이끌고 있는 것으로 전해졌다.

IT 전문 매체 디인포메이션에 따르면, 아이셩나는 올해 약 5대의 장비를 생산하고 2027년에는 생산량을 약 20대로 늘릴 계획이다. 생산된 장비는 올해 안에 SMIC(중신궈지), 화훙반도체, 창신메모리(CXMT) 등 중국의 주요 반도체 제조업체에 납품될 것으로 예상된다.

기술 자립의 성과와 한계

액침 DUV는 네덜란드 ASML이 독점해 온 핵심 반도체 장비로, 웨이퍼와 렌즈 사이에 물을 투입해 더 미세한 회로를 그릴 수 있게 하는 기술이다. 중국이 이 장비의 국산화에 성공한 것은 시진핑 주석이 최우선 과제로 추진 중인 '반도체 굴기'의 가시적인 성과로 평가된다.

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이는 서방의 추가적인 수출 통제나 기존 장비에 대한 서비스 중단 시 중국 칩 제조업체들에게 대안을 제공할 수 있다는 점에서 의미가 크다. 그러나 소식통은 아이셩나의 장비가 상용화되기까지 추가적인 테스트가 필요하며, 기술적으로 ASML의 최신 모델과는 아직 상당한 격차가 있다고 언급했다. 따라서 단기적으로 ASML의 시장 지위에 즉각적인 위협이 되지는 않을 것으로 보인다.

베일에 싸인 아이셩나

아이셩나는 2023년 8월에 설립된 신생 기업으로, 등록 자본금은 70억 위안(약 1조 3천억 원)에 달한다. 기업 등기 기록에 따르면 상하이전기그룹과 상하이국제신탁의 자회사가 지분을 보유한 순수 국영 자본 기업이다.

회사는 웹사이트도 운영하지 않으며 공개적으로 활동 내역을 밝힌 적이 없어 베일에 싸여 있다. 하지만 중국의 반도체 자립 프로젝트에 깊이 관여해 온 상하이마이크로일렉트로닉스(SMEE)와 화웨이가 지원하는 위량셩(Yuliangsheng) 등의 인력이 합류한 것으로 알려져, 중국 정부의 전폭적인 지원을 받는 핵심 기업으로 분석된다.